Initiation time of near-infrared laser-induced slip on the surface of silicon wafers
http://scitation.aip.org/content/aip/journal/apl/104/25/10.1063/1.4885385
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ABSTRACT
We have determined the initiation time of laser-induced slip on a silicon wafer surface subjected to a near-infrared continuous-wave laser by numerical simulations and experiments. First, numerical analysis was performed based on the heat transfer and thermoelasticity model to calculate the resolved shear stress and the temperature-dependent yield stress. Slip initiation time was predicted by finding the time at which the resolved shear stress reached the yield stress.Experimentally, the slip initiation time was measured by using a laser scattering technique that collects scattered light from the silicon wafer surface and detects strong scattering when thesurface slip is initiated. The surface morphology of the silicon wafer surface after laser irradiationwas also observed using an optical microscope to confirm the occurrence of slip. The measuredslip initiation times agreed well with the numerical predictions.
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2022.11 한국비파괴검사학회 2022 추계학술대회 우수논문발표상 (유지웅, 송동기, 장경영)
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2021.12 한국비파괴검사학회 2021 추계학술대회 우수논문발표상 (한희진, 장경영)
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2021.12 한국비파괴검사학회 2021 추계학술대회 우수논문발표상 (방성준, 송동기, 장경영)
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2022 산업과학연구소 우수논문상 (박성현)
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2021.07 한국비파괴검사학회 2021 춘계학술대회 우수논문발표상 (유지웅, 송동기, 장경영)
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2021.07 한국비파괴검사학회 2021 춘계학술대회 우수논문발표상 (송동기, 장경영)
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2020.06 한국비파괴검사학회 비파괴검사학회지 우수논문상 / 2020.07 한국과학기술단체총연합회 과학기술우수논문상 (최성호,김상민,장경영)
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2019.07 한국비파괴검사학회 2019 춘계학술대회 우수논문발표상 (송동기, 류주영, 홍정연, 최성호, 장경영)
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2019.07 한국비파괴검사학회 2019 춘계학술대회 우수논문발표상 (박성현, 심명종, 최성호, 장경영)
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2018 산업통상자원부장관 위촉장
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2018.11 비파괴학회 우수포스터상 (이영진,박기태,김종범,김창수,장경영)
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2018.11 비파괴학회 우수논문발표상 (김창수,김종범,송동기,장경영)
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2017년 비파괴검사학회지 우수논문발표상 (하홍필, 김종범, 장경영)
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2017 글로벌박사 펠로우십 (Global Ph.D. Fellowship) 1건 선정 - 전지현 (박사과정)
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2017 글로벌박사 펠로우십 (Global Ph.D. Fellowship) 1건 선정 - 서호건 (박사과정)
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KSME-SEMES 오픈 이노베이션 챌린지 동상 수상 - 윤성희
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2016 글로벌박사 펠로우십 (Global Ph.D. Fellowship) 1건 선정 - 전지현 (석박사통합과정)